Chemical Mechanical Polishing

Bidh snasadh ceimigeach-meacanaigeach (CMP) gu tric an sàs ann a bhith a’ dèanamh uachdaran rèidh tro ath-bhualadh ceimigeach, gu sònraichte ag obair ann an gnìomhachas saothrachadh leth-chonnsachaidh.Lonnmeatair, ùr-ghnàthair earbsach le còrr is 20 bliadhna de eòlas ann an tomhas dùmhlachd in-loidhne, a’ tabhann teicneòlas ùr-nodhameatairean dùmhlachd neo-niùclasachagus mothachairean slaodachd gus dèiligeadh ri dùbhlain riaghladh sludaidh.

Cudromachd Càileachd Slurry agus Eòlas Lonnmeter

’S e an slurry snasail ceimigeach-meacanaigeach cnàimh-droma a’ phròiseis CMP, a’ dearbhadh co-ionannachd agus càileachd uachdar. Faodaidh dùmhlachd no slaodachd neo-chunbhalach slurry leantainn gu uireasbhaidhean leithid meanbh-sgrìoban, toirt air falbh stuth neo-chothromach, no bacadh pada, a’ dèanamh cron air càileachd wafer agus ag àrdachadh chosgaisean cinneasachaidh. Tha Lonnmeter, prìomh chompanaidh tomhais gnìomhachais air feadh an t-saoghail, gu sònraichte a’ tomhas slurry in-loidhne gus dèanamh cinnteach à coileanadh slurry as fheàrr. Le eachdraidh dhearbhte ann a bhith a’ lìbhrigeadh mothachairean earbsach, àrd-chruinneas, tha Lonnmeter air com-pàirteachadh le prìomh luchd-saothrachaidh leth-chonnsachaidh gus smachd agus èifeachdas pròiseas a leasachadh. Bidh na meatairean dùmhlachd slurry neo-niùclasach agus mothachairean slaodachd aca a’ toirt seachad dàta fìor-ùine, a’ comasachadh atharrachaidhean mionaideach gus cunbhalachd slurry a chumail suas agus coinneachadh ri iarrtasan teann saothrachadh leth-chonnsachaidh an latha an-diugh.

Còrr is dà dheichead de eòlas ann an tomhas dùmhlachd in-loidhne, earbsach le prìomh chompanaidhean leth-chonnsachaidh. Tha mothachairean Lonnmeter air an dealbhadh airson amalachadh gun fhiosta agus gun chumail suas, a’ lughdachadh chosgaisean obrachaidh. Fuasglaidhean sònraichte gus coinneachadh ri feumalachdan pròiseas sònraichte, a’ dèanamh cinnteach à toradh àrd wafer agus gèilleadh.

Dreuchd snasadh ceimigeach meacanaigeach ann an saothrachadh leth-sheoltairean

’S e snasadh ceimigeach-meacanaigeach (CMP), ris an canar cuideachd planarachadh ceimigeach-meacanaigeach, clach-oisinn saothrachadh leth-chonnsachaidh, a’ comasachadh uachdaran rèidh, gun lochdan a chruthachadh airson cinneasachadh sliseagan adhartach. Le bhith a’ cothlamadh gràbhaladh ceimigeach le sgrìobadh meacanaigeach, bidh am pròiseas CMP a’ dèanamh cinnteach à cruinneas a tha a dhìth airson chuairtean amalaichte ioma-fhilleadh aig nódan fo 10nm. Bidh an slurry snasadh ceimigeach-meacanaigeach, air a dhèanamh suas de dh’uisge, riochdairean ceimigeach, agus mìrean sgrìobach, ag eadar-obrachadh leis a’ phloc snasaidh agus an wafer gus stuth a thoirt air falbh gu co-ionnan. Mar a bhios dealbhadh leth-chonnsachaidh ag atharrachadh, tha am pròiseas CMP a’ sìor fhàs iom-fhillte, ag iarraidh smachd teann air feartan an t-slurry gus casg a chuir air lochdan agus na wafers rèidh, snasta a tha air an iarraidh le Fùirneisean leth-chonnsachaidh agus Solaraichean Stuthan a choileanadh.

Tha am pròiseas riatanach airson sgoltagan 5nm agus 3nm a dhèanamh le glè bheag de lochdan, a nì cinnteach à uachdaran rèidh airson tasgadh ceart nan sreathan às dèidh sin. Faodaidh eadhon neo-chunbhalachdan beaga ann an sliseag leantainn gu ath-obair chosgail no call toraidh.

Dùbhlain ann a bhith a’ cumail sùil air feartan slurry

Tha dùmhlachd is slaodachd cunbhalach an t-slamaidh anns a’ phròiseas snasail ceimigeach meacanaigeach làn dhùbhlain. Faodaidh feartan an t-slamaidh atharrachadh air sgàth nithean leithid còmhdhail, caolachadh le uisge no haidridean piorocsaid, measgachadh neo-iomchaidh, no crìonadh ceimigeach. Mar eisimpleir, faodaidh socrachadh mìrean ann an totes sladaidh dùmhlachd nas àirde adhbhrachadh aig a’ bhonn, ag adhbhrachadh snasadh neo-èideadh. Gu tric chan eil dòighean sgrùdaidh traidiseanta leithid pH, comas lughdachadh oxidation (ORP), no seoltachd iomchaidh, leis nach eil iad a’ lorg atharrachaidhean beaga ann an co-dhèanamh an t-slamaidh. Faodaidh na cuingealachaidhean sin leantainn gu uireasbhaidhean, ìrean toirt air falbh nas ìsle, agus cosgaisean caitheamh nas àirde, a’ cur chunnartan mòra air luchd-saothrachaidh uidheamachd leth-chonnsachaidh agus solaraichean seirbheisean CMP. Bidh atharrachaidhean co-dhèanamh rè làimhseachadh agus sgaoileadh a’ toirt buaidh air coileanadh. Feumaidh nodan fo-10nm smachd nas teinne air purrachd an t-slamaidh agus cruinneas measgachadh. Tha pH agus ORP a’ sealltainn glè bheag de dh’ atharrachadh, agus tha seoltachd ag atharrachadh le aois an t-slamaidh. Faodaidh feartan sladaidh neo-chunbhalach ìrean uireasbhaidhean a mheudachadh suas ri 20%, a rèir sgrùdaidhean gnìomhachais.

Braitearan In-loidhne Lonnmeter airson Sgrùdadh Fìor-ùine

Bidh Lonnmeter a’ dèiligeadh ris na dùbhlain seo leis na meatairean dùmhlachd sludaidh neo-niùclasach adhartach aige agusmothachairean slaodachd, a’ gabhail a-steach meatair slaodachd in-loidhne airson tomhasan slaodachd in-loidhne agus am meatair dùmhlachd ultrasonach airson sgrùdadh dùmhlachd is slaodachd an t-slam aig an aon àm. Tha na mothachairean seo air an dealbhadh airson amalachadh gun fhiosta ann am pròiseasan CMP, le ceanglaichean àbhaisteach gnìomhachais. Tha fuasglaidhean Lonnmeter a’ tabhann earbsachd fad-ùine agus glè bheag de chumail suas airson a thogail làidir. Leigidh dàta fìor-ùine le luchd-obrachaidh measgachadh slum a mhìneachadh gu mionaideach, casg a chuir air uireasbhaidhean, agus coileanadh snasaidh a bharrachadh, ga dhèanamh riatanach dha Solaraichean Uidheam Mion-sgrùdaidh is Deuchainn agus Solaraichean Stuthan Consumpaidh CMP.

Buannachdan Sgrùdaidh Leantainneach airson Leasachadh CMP

Bidh sgrùdadh leantainneach le mothachairean in-loidhne Lonnmeter ag atharrachadh a’ phròiseas snasaileachd ceimigeach-meacanaigeach le bhith a’ lìbhrigeadh lèirsinn obrachail agus sàbhalaidhean cosgais mòra. Bidh tomhas dùmhlachd sludaidh agus sgrùdadh slaodachd ann an àm fìor a’ lughdachadh uireasbhaidhean leithid sgrìoban no cus snasaileachd suas ri 20%, a rèir comharran-tomhais gnìomhachais. Leigidh amalachadh le siostam PLC le dòsadh agus smachd pròiseas fèin-ghluasadach, a’ dèanamh cinnteach gu bheil feartan sludaidh a’ fuireach taobh a-staigh raointean as fheàrr. Bidh seo a’ leantainn gu lùghdachadh 15-25% ann an cosgaisean caitheamh, ùine downt air a lughdachadh, agus cunbhalachd wafer nas fheàrr. Airson Fùirneisean Semiconductor agus Solaraichean Seirbheisean CMP, bidh na buannachdan sin ag eadar-theangachadh gu cinneasachd nas fheàrr, iomallan prothaid nas àirde, agus gèilleadh ri inbhean mar ISO 6976.

Ceistean Cumanta mu Sgrùdadh Slurry ann an CMP

Carson a tha tomhas dùmhlachd sludair riatanach airson CMP?

Bidh tomhas dùmhlachd slurraidh a’ dèanamh cinnteach à sgaoileadh mìrean cunbhalach agus cunbhalachd measgachadh, a’ cur casg air uireasbhaidhean agus ag adhartachadh ìrean toirt air falbh sa phròiseas snasadh ceimigeach meacanaigeach. Bidh e a’ toirt taic do chinneasachadh wafer àrd-inbhe agus a’ gèilleadh ri inbhean gnìomhachais.

Ciamar a bhios sgrùdadh slaodachd a’ neartachadh èifeachdas CMP?

Bidh sgrùdadh slaodachd a’ cumail sruth cunbhalach de shlam, a’ cur casg air cùisean leithid bacadh pada no snasadh neo-chothromach. Bidh mothachairean in-loidhne Lonnmeter a’ toirt seachad dàta fìor-ùine gus am pròiseas CMP a bharrachadh agus toradh wafer a leasachadh.

Dè a tha a’ dèanamh meatairean dùmhlachd sludaidh neo-niùclasach Lonnmeter gun samhail?

Bidh meatairean dùmhlachd neo-niùclasach Lonnmeter a’ tabhann tomhasan dùmhlachd is slaodachd aig an aon àm le cruinneas àrd agus gun chumail suas sam bith. Tha an dealbhadh làidir aca a’ dèanamh cinnteach à earbsachd ann an àrainneachdan pròiseas CMP dùbhlanach.

Tha tomhas dùmhlachd sludaidh agus sgrùdadh slaodachd fìor-ùine deatamach airson am pròiseas snasadh ceimigeach meacanaigeach a bharrachadh ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh. Bidh meatairean dùmhlachd sludaidh neo-niùclasach agus mothachairean slaodachd Lonnmeter a’ toirt seachad innealan do luchd-saothrachaidh uidheamachd leth-chonnsachaidh, solaraichean stuthan consumaichte CMP, agus ionadan-fùirneis leth-chonnsachaidh gus faighinn thairis air dùbhlain riaghlaidh sludaidh, uireasbhaidhean a lughdachadh, agus cosgaisean a lughdachadh. Le bhith a’ lìbhrigeadh dàta mionaideach, fìor-ùine, bidh na fuasglaidhean sin a’ neartachadh èifeachdas phròiseasan, a’ dèanamh cinnteach à gèilleadh, agus a’ stiùireadh prothaid ann am margaidh farpaiseach CMP. Tadhail.Làrach-lìn Lonnmeterno cuir fios chun sgioba aca an-diugh gus faighinn a-mach mar as urrainn do Lonnmeter na h-obraichean snasaidh ceimigeach-meacanaigeach agad atharrachadh.

Gabh Gnìomh A-nis

Àm puist: 22 Iuchar 2025